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  • Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf
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Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf

3 juin 1998
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Description

Publié par: Springer
Dimensions à l’expédition: 9" H x 6" W x 1" L
ISBN: 9783540645672
Étape de vie: null

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