Free Preview of Sekundärionen- und Neutralteilchenmassenspektrometrie an oxidischen Dünnschichtsystemen: Der Einfluß ionenbeschußindizierter Prozesse auf die Sekundärteilchenemission im Zerstäubungsgleichgewicht und an Schichtgrenzflächen
Sekundärionen- und Neutralteilchenmassenspektrometrie an oxidischen Dünnschichtsystemen: Der Einfluß ionenbeschußindizierter Prozesse auf die Sekundärteilchenemission im Zerstäubungsgleichgewicht und an Schichtgrenzflächen